近日，作為基地首批簽約孵化項目之一 ，全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試
，其精度比肩國際主流設備，標志著量子芯片研發從此有了“中國刻刀 ” 。

　　愛建證券指出 ，SEMI數據顯示
，2024年全球光刻設備市場規模達295.7億美元，Mordor Intelligence預計全球光刻機市場規模到2029年將達378.1億美元 ，2024-2034復合增長率為5.0%
。在國產半導體產業鏈的通力合作下
，越來越多的國產光刻機產業鏈企業取得顯著進展，建議關注相關的投資機會。

　　據財聯社主題庫顯示 ，相關上市公司中：

　　博眾精工表示，2024年下半年博眾儀器正式發布熱場發射電子源、高穩定度直流高壓電源和高穩定度恒流源
，這些產品不僅是透射電子顯微鏡的關鍵部件，還可以用于掃描電鏡 、聚焦離子束
、電子束光刻機等領域設備 。

　　路維光電90nm、40nm在光刻機方面都需要使用電子束光刻機搭配干法制程技術 ，公司已經針對半導體掩膜版在電子束光刻 、干法制程等技術方面開展了相應研究
，不斷進行技術突破
。

（文章來源：財聯社）